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具體分析下擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)原理

更新時(shí)間:2023-02-23   點(diǎn)擊次數(shù):1134次
  擴(kuò)散硅壓力變送器要由測壓元件傳感器(也稱作壓力傳感器)、測量電路和過程連接件三部分組成。它能將測壓元件傳感器感受到的氣體、液體等物理壓力參數(shù)轉(zhuǎn)變成標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)(如4~20mADC等),以供給指示報(bào)警儀、記錄儀、調(diào)節(jié)器等二次儀表進(jìn)行測量、指示和過程調(diào)節(jié)。
 
  擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)原理:
 
  擴(kuò)散硅壓力變送器通過溫度傳感器將溫度信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),然后電信號(hào)經(jīng)前置放大器放大濾波,送入CPU的A/D轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換。較后CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、顯示、PWM輸出。
 
  被測介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移。在正常工作條件下,隔膜的較大位移不超過0.025毫米。電子線路檢測到該位移后,將該位移轉(zhuǎn)換為與該壓力對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測量信號(hào)。當(dāng)過壓發(fā)生時(shí),隔膜直接附著在固體陶瓷基底/擴(kuò)散硅上。由于膜片與基板之間的間隙只有0.1 mm,所以在發(fā)生過壓時(shí),膜片的較大位移只能是0.1 mm,所以膜片在結(jié)構(gòu)上不會(huì)發(fā)生過度變形。該傳感器穩(wěn)定性好,可靠性高。
 
  擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)指標(biāo):
 
  精度等級(jí):0.25級(jí)基本誤差±0.25%
 
  非線性誤差:0.3級(jí)≤±0.3%FS
 
  滯后誤差:≤±0.3%FS
 
  輸出特性:
 
  ①0-10mA輸出,負(fù)載電阻0-15KΩ
 
 ?、?-20mA輸出,負(fù)載電阻0-600Ω
 
 ?、酆懔鬏敵鰞?nèi)阻大于10MΩ
 
 ?、芏€制4-20mA輸出:標(biāo)準(zhǔn)供電DC24V
 
  防爆標(biāo)志:(RPT-Ⅲ):ExiaⅡCT4-6

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